原问题:5nm芯片无需光刻机 !芯片中国科技公司已经恳求制作专利
【手机中国往事】9月15日,无需手机中国留意到,光刻国科天眼查App展现 ,机中技公经恳上海创消新技术睁开有限公司恳求的司已“5纳米芯片制作的直接蚀刻措施”专利宣告。摘要展现,求制该缔造波及芯片妄想及制作 ,作专妄想是芯片